Лаборатория обладает набором оборудования для разработки, производства, и тестирования различных МЭМС-изделий:

• установка магнетронного напыления на базе УРМ-327
• установка термического напыления на базе УРМ-327
• установка для проведения вакуумных измерений на базе УРМ-327
• установки вакуумной и воздушной термоэлектродиффузионной сварки
• модернизированная установка дисковой резки ЭМ-225
• установка совмещения и фотоэкспонирования ЭМ-576
• участок жидкой химии
• установки лазерной резки/скрайбирования оптически прозрачных и непрозрачных материалов
• участок температурной обработки
• установка монтажа чипов PP-6
• установки разварки выводов ультразвуком и расщепленным электродом
• измерительный участок, включающий зондовую установку, измерительные приборы, генераторы и блоки питания различных типов
• участок точной механообработки
• парк вычислительной техники с программным обеспечением для проектирования и моделирования