• Микроячейки для атомных часов;
• Микромеханические устройства с гребенчатым приводом
• (микрозеркала, датчики микрогироскопов и акселерометров);
• Кремниевые датчики давления для аэродинамических и биомедицинских применений;
• Тепловой микропреобразователь для вторичного эталона переменного напряжения,
• Многофункциональные тепловые преобразователи микрорасходомер, инклинометр, вакуумметр;
• ВЧ МЭМС переключатели;
• Инерциальные микровыключатели;