2005-2006 г.

 Разработка интегрированного плоского ионного энергоанализатора.

2005-2006 г.

Создание лабораторных образцов тепловых реле на основе МЭМС с биморфным принципом управления.

2007-2008 г.

Разработка и оптимизация новых процессов и продуктов МЕМС-технологий

2007-2009 г.

Разработка базовых технологических процессов для кластерного вакуумного технологического оборудования

2007-2009 г.

Оценка и внедрение в транспортные средства недорогих  тепловых инерциальных датчиков для применения в управлении колесами

2008-2009 г.

Исследование и анализ технологических методов трехмерного формообразования для изготовления МЕМС датчиков с высоким аспектным соотношением

2010 г.

Разработка технологии для создания макета модуля печатающей головки

2010-2011 г.

Анализ и отработка технологических операций создания инерциальных преобразователей параметров движения с использованием наноматериалов»

2010-2011 г.

 Отработка технологии и изготовление первичных преобразователей МЭМС-акселерометров

2010-2012 г.

Разработка конструкции и технологии изготовления акселерометра по технологии MEMS, предназначенного для применения в сейсмодатчиках

2010-2012 г.

Разработка конструкции и технологии изготовления микросистемного инерциального включателя

2011-2012 г.

Разработка конструкции и технологии изготовления вакуумметрического датчика на основе микросистемной техники

2011-2012 г.

Разработка многофункционального ряда тепловых преобразователей микросистемной техники и базовой технологии их изготовления

2013-2014 г.

Исследование технологических процессов изготовления сверхминиатюрных газовых ячеек для стандарта частоты на основе эффекта когерентного пленения населенностей