Лаборатория нано- и микросистемной техники

Санкт-Петербургский Политехнический университет

Введение

МикроЭлектроМеханические Системы (МЭМС)  — направление науки и техники направленное на создание сенсоров и активаторов различного назначения с помощью модернизированных технологий микроэлектроники.

 МЭМС — это множество микроустройств самых разнообразных конструкций и назначения, производимых сходными методами с использованием модифицированных групповых технологических приемов микроэлектроники.

Это могут быть:
— миниатюрные детали: гидравлические и пневмо клапаны, струйные сопла принтера, пружины для подвески головки винчестера;
— микроинструменты: скальпели и пинцеты для работы с объектами микронных размеров;
— микромашины: моторы, насосы, турбины величиной с горошину;
— микророботы;
— микродатчики и исполнительные устройства;
— аналитические микролаборатории на чипе.

Некоторые из них производятся в мире многомиллионными тиражами, другие только разрабатываются и проходят испытания.