Лаборатория нано- и микросистемной техники

Санкт-Петербургский Политехнический университет

Круг интересов

  • Разработки МЭМС для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных и инерциальных приборов.
  • Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС.
  • Методы автоматизированного проектирования МЭМС
  • Разработки специализированных технологий для МЭМС.
  • Освоение, создание и отработка технологий применения “не традиционных” для МЭМС материалов.