Состав
Пятышев Евгений Нилович, к.ф.-м.н., заведущий лабораторией
Заведует лабораторией с момента ее создания
Окончил кафедру физики полупроводников ЛПИ в 1975 г. Стал научным сотрудником кафедры, участвовал в исследованиях по широкой тематике (высоковольтные планарные р-п переходы, эффект катодоусиления, многоострийный матричный автоэмиссионный «холодный» катод и т.д.) и вел разработку полупроводниковых приборов для промышленности. Диссертация по тематике «Электронные лампы с полупроводниковым анодом» защищена в 1986г. С 1989г. является научным руководителем подразделения, ставшим впоследствии лабораторией НМСТ. Научные интересы: микротехнологии, микроэлектромеханические системы (МЭМС), их проектирование, разработка и создание, применение систем разработки и автоматизированного проектирования МЭМС. Ведет большую организационную и координационную работу в области микротехнологии и МЭМС.
Акульшин Юрий Дмитиревич, ведущий инженер
Окончил кафедру гидроаэродинамики ЛПИ в 1970 г., затем научный сотрудник проблемной лаборатории компрессоростроения СПбГТУ. Специализация: разработка, создание и метрологическое обеспечение приборов и систем для исследований и диагностики. С 1995 года сотрудничает с лабораторией НМСТ — участвует в разработке, создании и испытаниях различных микромеханических устройств, обеспечивает поиск и сбор информации по микротехнологиям и МЭМС. Научные интересы: вопросы применения МЭМС, разработка и испытания микросенсоров для исследований в области гидроаэродинамики, теория решения изобретательских задач (ТРИЗ) в приложение к МЭМС.
Казакин Алексей Николаевич, научный сотрудник
(бакалавр 1998 г., магистр 1999 г. кафедра физики полупроводников и нанотехнологии СПбГТУ). С 1996 г. работал в рамках «НИР студентов» в лаборатории, участвовал в разработке и проведение технологических процессов, создании и испытаниях различных микромеханических устройств. Научные интересы: технологии создания вибрационного микрогироскопа, технологии пористого кремния, реактивное ионно-плазменное травление, отработка технологических операций изготовления МЭМС.
Клейманов Роман Валерьевич, инженер
Изучал компрессорную и вакуумную технику в Санкт-Петербургском политехническом университете им. Петра Великого. Основное внимание уделялось вычислительной гидродинамике и механическому моделированию. С 2015 года является аспирантом лаборатории. Научные интересы: микромеханика, гидродинамика, процессы химического осаждения из паровой фазы.
Комаревцев Иван Михайлович, научный сотрудник
(бакалавр — 2002 г., магистр техники и технологии — июнь 2004 г., окончил СПбГПУ, радиофизический факультет, кафедру физики полупроводников и наноэлектроники). С 2003г. работает в лаборатории микротехнологии и микроэлектромеханических систем в рамках «НИР студентов», с сентября 2004 — продолжил работу в должности инженера лаборатории, участвует в разработке и проведении технологических процессов, создании и испытаниях различных микромеханических устройств.
Ладе Юрий Борисович, к.т.н., старший научный сотрудник
Окончил машиностроительный факультет Механического института, работал инженером — конструктором в аэрокосмической промышленности. Диссертация по тематике создания компрессоров сверхвысокого давления защищена в 1980г. В лаборатории работает с 1991г., обеспечивая проведение инженерно- конструкторских работ, эксплуатацию механообрабатывающего и технологического оборудования. Научные интересы: разработка и создание узлов и устройств лабораторного и технологического назначения.
Эннс Яков Борисович, инженер
Изучал твердотельную физику и микроэлектронику в Новгородском государственном университете имени Ярослава Мудрого. Получил степень магистра электроники и наноэлектроники. С 2014 года аспирант в лаборатории. Научные интересы: разработка, моделирование и изготовление микросистем, изучение нелинейного поведения микроэлектромеханических устройств.
Внесли неоценимый вклад в деятельность лаборатории:
Глуховской Анатолий Викторович
Козлов Владислав Петрович
Бакалавр 1999г., магистр техники и технологии — 2001 г., окончил СПбГТУ, факультет технической кибернетики, кафедру автоматики и вычислительной техники). Научные интересы: технологии создания и исследование систем сбора и обработки данных, построенных на однокристальных микроконтроллерах и/или персональных компьютерах, системы сбора и обработки для производства и испытаний МЭМС.
Коршунов Андрей Васильевич, к.т.н.
Окончил кафедру компрессоростроения ЛПИ в 1987 г. Специализация: разработка, создание и метрологическое обеспечение приборов и систем для исследований аэродинамических процессов в т. ч. в турбомашинах. Внештатный сотрудник лаборатории микротехнологии и микроэлектромеханических систем — участвует в разработке, создании и испытаниях различных микромеханических устройств. Научные интересы: вопросы применения МЭМС, разработка и испытания микросопловых устройств и микросенсоров для исследований в области гидроаэродинамики.
Лунев Владислав Петрович
Окончил кафедру физики полупроводников ЛПИ в 1980г., работал в области разработки и создания электронных и оптико-электронных приборов и устройств различного назначения в судостроительной промышленности. В лаборатории работал с 1991 г., обеспечивая разработку и эксплуатацию электромеханических, электронных и вакуумных узлов и устройств технологического установок, подбор, установку и освоение программного обеспечения и эксплуатацию локальной сети лаборатории. Научные интересы: разработка МЭМС на перспективных принципах и эффектах, разработка и создание электронных и оптико-электронных приборов методами автоматизированного проектирования.
Лурье Михаил Семенович, к.ф.-м.н.
Окончил физический факультет ЛГУ.в 1951г. Один из старейших технологов микроэлектроники. Работы по развитию этой отрасли начал в 1956г. в спецлаборатории СЛ-11. После создания на базе СЛ-11 ЛКБ, был в различное время организатором и руководителем нескольких профильных лабораторий и физико-технологического отдела ЛКБ. Провел много разработок по тематике: тонкопленочная технология, сегнетоэлектрические и ферритовые запоминающие элементы, планарная технология микросхем на кремнии, ионная имнлантация. Диссертация по теме «Тонкопленочные полевые транзисторы на основе соединений АIIBVI » защищена в 1966г. Имеет около сотни научных публикаций. В разработке конкурсного проекта МЭП «Минифаб-15″ являлся заместителем главного конструктора по технологии. В 1992г. перешел на работу в СПбГТУ. В лаборатории занимался вопросами сквозных технологических маршрутов, ионноплазменного травления и вакуумных процессов нанесения. Научные интересы: технологические аспекты микросистемной техники, сквозные маршруты и пооперационные технологии создания МЭМС, в частности проблемы трехмерного формообразования, скоростного анизотропного плазменного травления и вакуумного нанесения слоев сложного состава.
Любезнов Вячеслав Сергеевич
Защита диплома — март 2002 г., факультет технологии и исследования материалов, кафедра материалов электронной техники, СПбГТУ. С 2001 г. по 2004 г. работал в лаборатории микротехнологии и микроэлектромеханических систем.
Одинцов Андрей Викторович
Бакалавр 1999 г., защита диплома — июль 2001 г., аспирантура — 2001-2004 г., факультет технологии и исследования материалов, кафедра материалов электронной техники, СПбГТУ. С 2000 г. работал в рамках «НИР студентов» в лаборатории микротехнологии и микроэлектромеханических систем, участвует в разработке и проведение технологических процессов, создании и испытаниях различных микромеханических устройств.
Пакконен Александр Викторович
Бакалавр 1999г., защита диплома — февраль 2001 г., факультет технологии и исследования материалов, кафедра материалов электронной техники, СПбГТУ. Работал в лаборатории микротехнологии и микроэлектромеханических систем до 2002 г.
Филимонов Владимир Вячеславович