Лаборатория нано- и микросистемной техники

Санкт-Петербургский Политехнический университет

Проекты

  • Микроячейки для атомных часов;
  • Микромеханические устройства с гребенчатым приводом
  • (микрозеркала, датчики микрогироскопов и акселерометров);
  • Кремниевые датчики давления для аэродинамических и биомедицинских применений;
  • Тепловой микропреобразователь для вторичного эталона переменного напряжения,
  • Многофункциональные тепловые преобразователи микрорасходомер, инклинометр, вакуумметр;
  • ВЧ МЭМС переключатели;
  • Инерциальные микровыключатели;