• Physics and technology of semiconductor devices;
• Prospective of MEMS and development of MEMS technologies;
• Development of MEMS for biomedical applications, experimenta, hydrodinamics, thermodynamics, vacuum and gyroscopic devices;
• Mathematical simulations of mechanical, thermal and electrical properties of MEMS devices;
• Automation of MEMS design and technologies;
• Development of novel technologies in semiconductors and MEMS;
• Development of processes for materials, unusial for MEMS;
• SMART-systems.

 

• Разработки МЭМС для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных и инерциальных приборов.
• Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС.
• Методы автоматизированного проектирования МЭМС
• Разработки специализированных технологий для МЭМС.
• Освоение, создание и отработка технологий применения “не традиционных” для МЭМС материалов.